微电铸金属模具的制作方法

作者：daweidianzhu  来源：本站  发表时间：2013-9-30 8:43:39

       一种微电铸金属模具的制作要领,包罗模具基底前处置处罚、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处置处罚、模具的检测工序,其特性是：接纳“无背板生长法”,无背板生长法便是通过紫外线UV照射光刻掩模板直接在镍基板上电铸出微布局图形；在微电铸母模的制作工序中,在SU-8光刻胶与基板间参加了光刻胶的种子层；在微电铸后处置处罚工序中,接纳真空退火,其制作要领的详细步调如下：
      (1)模具基底前处置处罚包罗高纯度镍基板的机器加工前处置处罚和外貌洗濯,外貌洗濯接纳有机溶剂除油法,有机溶剂接纳丙酮和乙醇；
      (2)在微电铸母模的制作工序中,SU-8光刻胶与种子层接纳光刻技能中的套刻工艺,通过光刻胶的显影得到自由空间；
      (3)在微电铸工序中,将电铸镍金属添补于自由空间中,微电铸电铸液的配方为氨基磺酸镍：360～380g/L、氯化镍：5～10g/L、硼酸：50～60g/L；微电铸工艺条件为：PH值：3.5～4.0、温度：50℃～55℃、电流密度1～2A/dm2。
      (4)在微电铸后处置处罚工序中,先辈行真空退火处置处罚,其温度为200～800℃、时间为60～200分钟；再举行精磨加工。 根据该要领制作的微电铸金属模具具有侧壁垂直度、外貌光洁度好的长处,办理基于模塑法、热压法的大范围、低本钱生产的聚合物、塑料产物格量低下的题目。实用于有机聚合物、塑料的微细加工。